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产品与系统集成
Slurry Local供应系统

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产品参数

型号

Local Slurry系统

规格

单桶/双桶供应

外观尺寸

W1200宽*D1500深*H2000高

可根据用户要求特殊定制

控制柜电源

220VAC,50HZ,1kw,漏电保护

吹扫PN2,SS316 1/2"SWG
超纯水
UPW,JIS 16A粘接

压缩空气

CDA,SS316 1/2"SWG

排废口

Drain,PP DN20 Fusion Socket

柜体抽风

OD 150MM,850m³/hr

标准配备

PP外壳+透明PVC观察窗+PFA内部管阀件,氮气吹扫,取样,全自动供应,Slurry原液供应泵一用一备,Slurry混配罐根据称重来实现自动切换供液操作,触屏可显示各颗阀的工作状态及管路供液状态,自动切断供液,系统各部分运行状态的预警及警报,多重安全性的自检与确认,简洁系统,并支持多种语言,支持多种信号输入


选配

Emergency Manual Operation Panel

紧急手动操作盘

Auto Door Lock

自动门锁

Barcode Scanner
扫码枪


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